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一種密封性更佳的真空閥的制作方法

在真空系統中,真空設備被密封并長時間保持在真空狀態,用于將設備夾層與空氣循環隔離的元件被稱為真空閥,其在被切斷后處于真空狀態。真空閥的應用場景很多,有些需要常閉。大多數現有的真空閥都用螺釘擰緊,以密封真空閥的內部。如果長時間放置,它們會變松并導致漏氣。而且現有真空閥密封效果不好,內部有很多縫隙,造成氣體滲透,影響真空效果。

為克服現有技術不足,技術人員提供一種密封性更好的真空閥。它通過以下技術方案實現:一種真空閥,包括閥體,閥體內設有通風通道,閥體包括左腔和右腔,左腔設有進氣口,右腔設有出氣口,進氣口和出氣口在閥體的軸向方向上交錯排列。左腔和右腔通過密封閥口連接,密封閥口兩端設有從密封閥口中部向兩端延伸的梯度,左腔和右腔均設有與梯度相匹配的臺階,密封閥口通過焊接與左腔和右腔固定。通風通道內設有導桿,導桿一端設有密封件,密封件與密封閥口配合,密封件配合端面設有環形槽,密封閥口邊緣設有與環形槽配合的倒角,導桿遠離密封件的一端螺紋連接有導向螺母。

其中,上述導向螺母的外周和閥體的外周均設有外螺紋,并與鎖緊螺母螺紋連接,鎖緊螺母為階梯螺母,同時與導向螺母的外周和閥體的外周螺紋連接;進氣口通過進氣噴嘴與進氣法蘭連接,出氣口通過出氣噴嘴與出氣法蘭連接。密封件通過螺栓與導桿連接。密封座設置在位于導桿上的密封元件的一側。導向螺母和鎖緊螺母之間設有止推軸承。閥體上還設有通向通風通道的表接口,表接口與進氣口連通,表接口與自密封表管座連接,自密封表管座上安裝有檢測表管。鎖緊螺母與閥體的螺紋配合處設有緊固螺釘。鎖緊螺母遠離閥體配合端設有保護帽,保護帽與鎖緊螺母接觸端之間設有墊圈。進氣法蘭和出氣法蘭的密封端面設有環形槽,環形槽內設有氟橡膠密封圈,進氣法蘭和出氣法蘭的密封端面設有盲板。

該新型真空閥的優點是:由于優化了構造,使密封件最終壓在密封閥口上進行密封;同時,密封件的配合端面設有環形槽,密封閥口邊緣設有倒角,倒角與環形槽的配合可以實現線與面之間的密封關系,提高密封效果;此外,該裝置導桿的周向側設有波紋桿作為密封,端部設有密封圈進一步密封,從而進一步提高了密封效果,能更有效地防止氣體滲透。

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